不同的獨(dú)立濕處理工藝槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry),按照客戶工藝菜單的設(shè)置,機(jī)械手在各工藝槽中進(jìn)行相應(yīng)的工藝處理。適用于單、雙盒硅片的濕法清洗。設(shè)備集成基于SNA專利技術(shù),用于硅片取干的IPA Dry模塊
全自動(dòng)清洗設(shè)備(硅基)
蔡先生
13901955336
蘇州市常熟市通江路305號(hào)B區(qū)6幢